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4應(yīng)用領(lǐng)域
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微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)
微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)
  Parylene能在0。2um厚時(shí)就完全沒有針孔,5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓,又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料,化學(xué)惰性和阻隔性能也好,因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中,除了作電介質(zhì)材料外,還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。