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??Parylene用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備,由活性小分子在基材表面"生長(zhǎng)"出完全敷形的聚合物薄膜涂層,它能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊,裂縫里和內(nèi)表面。這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層,厚度均勻、致密無(wú)針孔、透明無(wú)應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性,是當(dāng)代最有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)(如內(nèi)窺鏡硅膠線鍍膜)、航空航天、印制電路組件、高密集度小型化產(chǎn)品、微電子集成電路、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、半導(dǎo)體、傳感器、光學(xué)器件和文物檔案保護(hù)等領(lǐng)域。